在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，氣體的純凈度對生產(chǎn)質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。納微米氣體過濾器作為保障氣體純凈的關(guān)鍵設(shè)備，是半導(dǎo)體生產(chǎn)中不可或缺的一部分。隨著半導(dǎo)體技術(shù)向更先進的制程發(fā)展，對氣體純凈度的要求越來越高，傳統(tǒng)的過濾器已經(jīng)難以滿足高純氣體的微粒清除需求。恒歌作為專業(yè)的納米微米氣體過濾器生產(chǎn)廠家，憑借深厚的技術(shù)積累和豐富的行業(yè)經(jīng)驗，成功攻克了這一難題，為客戶提供了一套定制化的解決方案。

一、客戶面臨的挑戰(zhàn)

在半導(dǎo)體制造過程中，超純氣體的使用極為關(guān)鍵，其純凈度直接影響到芯片的質(zhì)量和性能。客戶在生產(chǎn)中使用的是超高純氣體(UHP)，這種氣體對微粒的敏感度極高，即使是極少量的亞微米級(0.1 – 1μm)微粒也可能導(dǎo)致光刻圖案失真、刻蝕不均勻等生產(chǎn)問題。傳統(tǒng)的過濾器在清除微粒方面存在諸多不足，如過濾效率僅能達到 99.9%，難以滿足半導(dǎo)體行業(yè)對超純氣體的凈化要求;壓力損耗普遍>0.5MPa，導(dǎo)致氣體傳輸效率降低;同時，復(fù)雜的多層結(jié)構(gòu)設(shè)計增加了維護難度與二次污染風(fēng)險。此外，半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境涉及等離子體刻蝕、化學(xué)氣相沉積(CVD)等高溫高壓工藝，對設(shè)備的耐高溫(需持續(xù)耐受 200 – 450℃)、耐高壓(工作壓力 5 – 15MPa)、耐腐蝕(抵抗含氟、氯等腐蝕性氣體)等性能也有嚴(yán)格要求，傳統(tǒng)過濾器往往難以適應(yīng)這種苛刻的工況。客戶急需一款能夠精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度的過濾器，以確保生產(chǎn)的順利進行和產(chǎn)品質(zhì)量的提升。

二、恒歌的定制化解決方案

恒歌針對客戶的特殊需求，為其定制了F型直通式氣體過濾器 (TF 系列工藝氣體專用過濾器)。這款過濾器專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計，具有以下顯著特點：

1. 卓越的微粒過濾性能

TF 系列過濾器采用先進的 316L 不銹鋼粉末燒結(jié)濾芯技術(shù)，能夠精準(zhǔn)攔截超純氣流中的微粒，顆粒攔截效率高達 99.9999999%(9LRV)@30slpm，確保氣體的超高純凈度。其高通量、低阻力的設(shè)計，大幅降低了壓力損耗，氦氣驗證泄漏率僅為 2×10?1? cc/min，氦氣測試泄漏率僅為 1×10?1? cc/min，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對氣體流量和壓力的嚴(yán)格要求。

2. 堅固耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計

過濾器整體采用頂級 316L 不銹鋼全材打造，結(jié)構(gòu)緊湊輕盈，工作壓力可達 207 bar(3000 psig)，工作溫度范圍為 -28℃ – 482℃，具有超強的耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能，能夠適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中的各種苛刻工況。這種材質(zhì)不僅能夠有效抵抗含氟、氯等腐蝕性氣體的侵蝕，還能確保設(shè)備在長期使用過程中的穩(wěn)定性和可靠性。

3. 簡便的安裝與維護

TF 系列過濾器采用 F 型直通式設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省空間，僅需進行氣路對接與螺母緊固，無需焊接，避免了焊接過程中可能產(chǎn)生的污染和風(fēng)險，確保密封無憂。此外，過濾器的維護也非常方便，更換濾芯簡單快捷，無需拆卸整個設(shè)備，大大減少了維護時間和成本。

4. 嚴(yán)格的質(zhì)量控制

恒歌建立了嚴(yán)格的生產(chǎn)質(zhì)量控制體系，對 TF 系列過濾器的生產(chǎn)過程進行全流程質(zhì)量管控。每一件產(chǎn)品均經(jīng)過 100% 完整性測試和 100% 氨氣檢漏測試，確保產(chǎn)品的性能和質(zhì)量達到最高標(biāo)準(zhǔn)。這種嚴(yán)格的質(zhì)量控制措施，為客戶提供了可靠的保障，使客戶能夠放心使用。

三、成功交付與客戶反饋

在恒歌的定制化解決方案下，F型直通式氣體過濾器 (TF 系列工藝氣體專用過濾器)經(jīng)過多次嚴(yán)格的測試和驗證，完全滿足了客戶對超純氣體微粒清除的要求。在某半導(dǎo)體生產(chǎn)線的實際使用過程中，過濾器持續(xù)穩(wěn)定運行 6 個月無性能衰減，晶圓表面缺陷率降低 82%，生產(chǎn)效率提升 35%，產(chǎn)品良品率從 89% 提升至 96%。客戶對恒歌的產(chǎn)品和服務(wù)給予了高度評價，認(rèn)為恒歌的專業(yè)技術(shù)團隊和定制化解決方案為他們解決了長期困擾的難題，為半導(dǎo)體生產(chǎn)的順利進行提供了有力支持。

恒歌憑借其在納微米氣體過濾器領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)和豐富經(jīng)驗，成功為半導(dǎo)體客戶定制了一款能夠精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流微粒的 F型直通式過濾器 (TF 系列工藝氣體專用過濾器)。這款過濾器以其卓越的微粒過濾性能、堅固耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計、簡便的安裝與維護以及嚴(yán)格的質(zhì)量控制，贏得了客戶的信賴和認(rèn)可。恒歌將繼續(xù)致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的氣體過濾解決方案，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。如果您也面臨著類似的氣體微粒污染難題，歡迎與恒歌聯(lián)系，我們將為您提供專業(yè)的定制化解決方案。

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