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半導體潔凈室溫濕度監測有多重要?

??????? 潔凈室是指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數都需要進行控制的密閉性空間。許多精密加工行業、半導體、芯片、醫學手術室、電子設備、航天、制藥、生物實驗室行業等都需要潔凈室。比如醫學行業主要是為了防止病菌、細菌、灰塵對病人手術過程中造成感染;溫濕度對于精密儀器儀表產品的精確程度有很大影響。

??????? 半導體在芯片、集成電路、消費電子、通信系統等中都有應用,

??????? 半導體制造潔凈室對溫濕度的要求一般是溫度處于22-28℃ ,濕度在30-50 RH(%)之間。潔凈室運作過程中對相對濕度環境控制尤為常見。因為相對濕度會對潔凈室總體表現下降有較大影響,比如加速細菌繁殖;人體舒適感不佳,人體汗液可能污染半導體產品;出現靜電荷;加快金屬腐蝕生銹;水汽冷凝污染半導體表面的清潔度;光刻的退化;影響光刻膠附著能力等。

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??????? 因此,對于半導體潔凈室的溫濕度控制尤為重要。現在的半導體潔凈室系統都會嚴格控制溫濕度、空氣潔凈度和壓力程度等,在室內安裝不同的溫濕度傳感器、壓力傳感器等,做到實時監測、實時控制。恒歌也有多款溫濕度變送器傳感器溫濕度儀表溫濕度記錄儀等產品應用于各種高精尖行業、生物實驗室、制藥車間、潔凈室的溫濕度監測。

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??????? 運用各種傳感器來對溫濕度數據進行實時監控,但是偶爾傳感器用久了,也會發生漂移現象。因此傳感器是需要定期校準的。恒歌溫濕度校準儀表具有操作方便、便攜、多功能、高精度、多種測量/數據輸出模式等優點,成為工業現場、實驗室、儀表制造常用的計量校準工具。

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??????? 不同的潔凈室對于溫濕度的要求是不同的,主要是根據加工使用的產品本身的特性來考量。但是有一點是可以肯定的,溫濕度不管在任何行業,作為一個環境因素發揮著重要的影響力。我們總是運用各種手段進行溫濕度數據監控,以便達到我們的理想狀態。

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發布時間 21-09-11
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