PECVD系統的氣源幾乎都是由氣體鋼瓶供氣，這些鋼瓶被放置在有許多安全保護裝置的氣柜中，通過氣柜上的控制面板、管道輸送到PECVD的工藝腔體中。在淀積時，反應氣體的多少會影響淀積的速率及其均勻性，恒歌PECVD氣體擴散分布器用于PECVD系統中，控制均布氣體流量，去除過濾氣體流路中的雜質。不銹鋼材質，高強度高硬度，耐腐蝕，高精度，過濾效率高，可反復清洗后使用。可應用于氣體pecvd系統、純水EDI/RO反滲系統、高溫煙氣廠氣體凈化系統、惰性氣體系統、醫用氣體系統、氣體內能系統等。

不銹鋼濾芯特點

結構穩定，不掉渣造成原液，碎渣對機械設備造成損壞
外觀精美，通過恒歌獨特的無縫一體化燒結而成，外表進過特殊拋光工藝使產品外觀光亮且無毛刺
內部孔隙率高，孔徑分布合理且均勻可實現氣體液體高效過濾
機械強度高，剛性優秀，塑性良好
過濾精度高（0.2~120微米）可按照設備需求定制不同精度

恒歌有專業的技術團隊提供技術支持，可按需定制、來圖來樣設計定制產品。

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恒歌濾芯廠家供應高效不銹鋼過濾芯_均布氣流用于PECVD系統氣體擴散分布器